|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАМЕРА ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ И СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПОДЛОЖКИ В ТАКОЙ КАМЕРЕ |  |
Номер публикации патента: 2237314 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/00 H01J037/36 | | Аналоги изобретения: | RU 2073282 C1, 10.02.1997. US 5788799 A, 04.08.1998. SU 791103 А, 10.01.1997. RU 94043752 A1, 20.10.1996. RU 2094960 С1, 27.10.1997. US 5051600 А, 24.09.1991. GB 2170350 А, 30.07.1986. |
| Имя заявителя: | ЛЭМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US) | | Изобретатели: | УИКЕР Томас Е. (US)
МАРАШИН Роберт А. (US)
КЕННЕДИ Уильям С. (US) | | Патентообладатели: | ЛЭМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к области электротехники, в частности к травильным камерам с плазмой высокой плотности. Камера содержит электростатический держатель, предназначенный для удержания пластины, и расходуемые части, которые являются в высокой степени устойчивыми к травлению и в меньшей степени восприимчивы к образованию загрязнений и температуру которых можно регулировать, что является техническим результатом изобретения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента