На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ | |
Номер публикации патента: 2231812 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G02B005/18 | Аналоги изобретения: | US 5815327 А, 29.09.1998. RU 99112341 А, 27.03.2001. SU 1222073 А1, 20.04.1995. US 5633102 А, 27.05.1997. |
Имя заявителя: | Институт систем обработки изображений РАН (RU) | Изобретатели: | Волков А.В. (RU) Казанский Н.Л. (RU) Моисеев О.Ю. (RU) | Патентообладатели: | Институт систем обработки изображений РАН (RU) |
Реферат | |
Способ изготовления дифракционных оптических элементов заключается в послойном нанесении фоторезистивных слоев, каждый из которых подвергают операциям засветки через соответствующий шаблон, проявления и задубливания. При этом формирование ступенчатого рельефа начинают со второй ступени, а после получения всех ступеней на них наносят дополнительный маскирующий слой фоторезиста, устойчивый к анизотропному травлению, засвечивают его через соответствующий шаблон, после чего осуществляют анизотропное
|