|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ В ЕДИНОМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ЦИКЛЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА И ЭЛЕКТРОННОЙ СХЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2227944 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/00 | | Аналоги изобретения: | US 5963788, 05.10.1999. RU 2168797, 10.06.2001. US 5550090, 27.08.1996. US 6159385, 12.12.2000. RU 2071145, 27.12.1996. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество открытого типа "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" | | Изобретатели: | Горнев Е.С.
Красников Г.Я.
Щербаков Н.А.
Еременко А.Н.
Ранчин С.О.
Зайцев Н.А.
Равилов М.Ф. | | Патентообладатели: | Акционерное общество открытого типа "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" |
Реферат | |
Изобретение относится к способу изготовления в едином технологическом цикле микроэлектромеханического устройства и электронной схемы управления. Способ включает формирование на полупроводниковой пластине изоляционного слоя оксида методом окисления в сухом кислороде, осаждение защитной пленки LPCVD нитрида кремния.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента