Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ОЧИСТКИ ТЕТРАФТОРМЕТАНА И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ

Номер публикации патента: 2215730

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2002101934/04 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C07C017/389   C07C017/10   C07C017/007   C07C019/08    
Аналоги изобретения: JP 08-081399 А, 26.03.1996. US 5417742 А, 23.05.1995. RU 2054375 С1, 20.02.1996. GB 2310853 А, 10.09.1997. 

Имя заявителя: СОВА ДЕНКО К.К. (JP) 
Изобретатели: ОНО Хиромото (JP)
ОХИ Тосио (JP) 
Патентообладатели: СОВА ДЕНКО К.К. (JP) 

Реферат


Изобретение относится к очистке тетрафторметана, который используют в качестве газа для травления или очищающего газа в производстве полупроводниковых устройств. Способ осуществляют путем взаимодействия тетрафторметана, содержащего в качестве примесей одно или несколько производных этилена, одно или несколько углеводородных соединений, монооксид углерода и/или диоксид углерода, с целитом и/или углеродсодержащим адсорбентом.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"