

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ СЛОЯ ТВЕРДОГО УГЛЕРОДА

Номер публикации патента: 2202513

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2001126918/12

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	C01B031/06 C23C016/27
Аналоги изобретения:	JP 2047267 А, 16.02.1990. RU 2006538 С1, 30.01.1994. RU 2049830 С1, 10.12.1995. RU 2136483 С1, 10.09.1999. RU 97108626 А, 27.11.1998. US 5328676 А, 12.07.1994. US 5455081 А, 03.10.1995. US 6020946 А, 01.02.2000. US 6090456 А, 18.07.2000. JP 6119613 А, 28.04.1994. JP 63085095 А, 15.04.1988. JP 63206390 А, 25.08.1988. JP 1298098 А, 01.12.1989.

Имя заявителя:	Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет,Центр технологий микроэлектроники
Изобретатели:	Казарин И.Г. Казак-Казакевич А.З.
Патентообладатели:	Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет Центр технологий микроэлектроники

Реферат

Изобретение предназначено для прикладной физики и может быть использовано при изготовлении элементов для микроэлектроники, защитных покрытий полупроводниковых приборов, инфракрасных светочувствительных элементов и светофильтров. Подложку из кремния, ситалла, стекла, лавсана или победита устанавливают на катоде ионной пушки, бомбардируют ионами аргона 2 мин.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"