|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ |  |
Номер публикации патента: 2193080 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B031/22 H01L021/265 | | Аналоги изобретения: | GB 1269359 A, 06.04.1972. US 4689667 A, 25.08.1987. РЖ "ФИЗИКА", 1986, т. 11, реф. № 11Е1170, ЛАРИКОВ Л.Н. и др. Воздействие одновременной имплантации гелия и водорода на структуру и свойства алюминия. "Письма в ЖТФ", 1986, 12, № 10, 551-593, реферат. РЖ "ФИЗИКА", 1983, т.11, реф. № 11Е128, DE WAARD H.et al. "Helium decorotion of impurities in metals. "Nucl. Jnstrum, and Meth. Phys", 1983, 209-210, Pt2: Jon Beam Modif. Mater. Proc. 3 Jut. Conf., Grenoble, Sept. 6-10, 1982, Pt2, 899-905, реферат. HAUTALA M. et al. Detrapping of impelanted helium and nitrogen in Mo. "J. Nucl. Mater", 1982, 105, № 2-3, 172-177. |
| Имя заявителя: | Объединенный институт ядерных исследований | | Изобретатели: | Реутов В.Ф.
Дмитриев С.Н. | | Патентообладатели: | Объединенный институт ядерных исследований |
Реферат | |
Изобретение относится к области легирования твердых тел путем облучения ионами фазообразующих элементов и может быть использовано для ионной модификации структуры и физико-механических свойств металлов, полупроводников и сверхпроводников. Сущность способа ионного легирования твердых тел заключается в том, что одновременно или последовательно облучают объекты ионами инертного газа и ионами фазообразующих элементов, причем путем облучения ионами инертного газа в объекте формируют газовые нанопоры с
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента