|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЛОЯ МЕТАЛЛА |  |
Номер публикации патента: 2190037 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/34 C23C014/16 | | Аналоги изобретения: | ДАНИЛИН Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок. - М.: Энергия, 1967, с.56. ЕР 0474348 А2, 11.03.1992. RU 2098511 С1, 10.12.1997. WO 99/63128 А1, 09.12.1999. WO 99/63128 А1, 09.12.1999. US 4662124 А, 05.05.1987. |
| Имя заявителя: | Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики,Министерство Российской Федерации по атомной энергии | | Изобретатели: | Пинегин А.В. | | Патентообладатели: | Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики
Министерство Российской Федерации по атомной энергии |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано для изготовления микромишеней, используемых в современных исследованиях управляемого термоядерного синтеза и при моделировании других физических процессов с использованием мощных лазеров. Способ включает вакуумное нанесение на подложку металла, плотность которого зависит от угла падения паров на подложку, и в процессе вакуумного нанесения слоя осуществляют вращательное движение подложки таким образом, что угол падения паров металла на подложку в произвольной то
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента