|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК АМОРФНОГО КРЕМНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2188878 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/24 C23C016/50 H01L021/205 | | Аналоги изобретения: | RU 2100477 C1, 27.12.1997. US 5356673 A, 18.10.1994. US 5423940 A, 13.06.1995. US 6013155 A, 11.01.2000. RU 2049151 C1, 27.11.1995. RU 2032765 C1, 10.04.1995. US 5164040 A, 17.11.1992. US 4441973 A, 10.04.1984. US 5725672 A, 10.03.1998. |
| Имя заявителя: | Омский государственный университет | | Изобретатели: | Струнин В.И.
Баранова Л.В.
Худайбергенов Г.Ж.
Шатохин А.Ю. | | Патентообладатели: | Омский государственный университет |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения пленок аморфного кремния. Предложен способ получения пленок аморфного кремния, основанный на осаждении продуктов разложения силансодержащей газовой смеси на нагретую подложку. Разложение газовой смеси происходит в плазме ВЧЕ-разряда вне камеры осаждения с последующим формированием из продуктов разложения сверхзвуковых струй, истекающих в вакуумную камеру осаждения через систему сверхзвуковых сопел, установленных в стенке камеры и расположенных друг отн
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента