|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ДИФФУЗИИ БОРА В КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2183365 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/385 | | Аналоги изобретения: | David Rupprecht, Joseph Stach. Solid State Device Laboratory, Electrical Engineering Department, The Pensylvania State University, University Park, Pensylvania 16802. US 4588454, 13.05.1986. US 4249970, 10.02.1981. SU 1105078, 10.01.1996. US 460150, 05.08.1986. US 4734386, 29.03.1988. |
| Имя заявителя: | Государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Пульсар" | | Изобретатели: | Диковский В.И.
Смирнова Н.В.
Евстигнеев Д.А. | | Патентообладатели: | Государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Пульсар" |
Реферат | |
Использование: в электронной технике, например в производстве кремниевых приборов. Сущность изобретения: способ включает предварительное окисление в сухом кислороде пластин нитрида бора, расположенных в держателе перпендикулярно потоку газа, размещение кремниевых пластин в держателе посередине зазора между пластинами нитрида бора, последующую термообработку кремниевых пластин в атмосфере сухого кислорода при температуре в диапазоне 840-900oС, изменение атмосферы на нейтральную, повторную термообработку при температуре 840-900oС или 780-840oС. При этом кислород и нейтральный газ подвергают осушке пропусканием через концентрированную серную кислоту, а загрузку кремниевых пластин в держатель осуществляют в сухой атмосфере. Технический результат изобретения заключается в создании областей, легированных бором, с высокой степенью равномерности и воспроизводимости высоких значений поверхностного сопротивления. 2 с. и 4 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента