На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

МИКРОИГЛА В ИНТЕГРАЛЬНОМ ИСПОЛНЕНИИ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2179458

Вид документа:  C2  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  99111533/14		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к медицине и биотехнологии, в частности к устройствам для осуществления инъекций, а именно к микроиглам, создаваемым технологиями, совместимыми с технологиями изготовления интегральных схем. Микроигла в интегральном исполнении содержит капиллярный канал и устройство для управления и/или анализа жидкости в капиллярном канале. Игла выполнена в виде трубки-свитка из напряженной гетероструктуры, состоящей, по меньшей мере, из двух монокристаллических слоев, причем слой, расположенный ближе к оси трубки-свитка, сформирован из материала с меньшей постоянной кристаллической решетки. Способ изготовления микроиглы в интегральном исполнении включает формирование на подложке многослойной структуры, изготовление из нее микроиглы с капиллярным каналом. Для изготовления микроиглы многослойную структуру формируют, по меньшей мере, из двух монокристаллических слоев, образующих напряженную гетероструктуру, и из жертвенного слоя, расположенного между данной гетероструктурой и подложкой. На поверхности напряженной гетероструктуры формируют дополнительный наружный слой из растворимого в травителе материала. Направленное боковое травление осуществляют, накрывая часть напряженной гетероструктуры пластиной, смоченной в буферном растворе. Технический результат заключается в обеспечении строго воспроизводимых геометрических параметров, высокой механической прочности. 2 с. и 2 з.п. ф-лы, 7 ил., 1 табл.

Вернуться к списку