Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


АБРАЗИВ ИЗ ОКСИДА ЦЕРИЯ И СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПОДЛОЖЕК

Номер публикации патента: 2178599

Вид документа: C2 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 99109040/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/304    
Аналоги изобретения: JP 08134435 A, 28.05.1996. JP 07263537 A, 13.10.1995. JP 07321077 А, 08.12.1995. ЕР 0266233 А1, 04.05.1988. ЕР 0411413 А1, 02.06.1991. ГОТРА З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991, с.78-86. 

Имя заявителя: ХИТАЧИ КЕМИКАЛ КАМПАНИ, ЛТД. (JP) 
Изобретатели: ЙОШИДА Масато (JP)
АШИДЗАВА Тараносуке (JP)
ТЕРАСАКИ Хироки (JP)
КУРАТА Ясуши (JP)
МАЦУДЗАВА Дзюн (JP)
ТАННО Кийохито (JP)
ООТУКИ Юуто (JP) 
Патентообладатели: ХИТАЧИ КЕМИКАЛ КАМПАНИ, ЛТД. (JP) 
Номер конвенционной заявки: 08-258766 
Страна приоритета: JP 
Патентный поверенный: Нилова Мария Иннокентьевна 

Реферат


Использование: технология микроэлектроники. Сущность изобретения: абразив из оксида церия содержит суспензию, которая включает частицы оксида церия со средним диаметром первичных частиц 30 - 250 нм и средним диаметром частиц в суспензии 150 - 600 нм. Указанные частицы оксида церия диспергированы в среде и имеют удельную площадь поверхности 7 - 45 м2/г, а структурный параметр Y, представляющий собой изотропную микродеформацию, определяемую при порошковом рентгеноструктурном анализе методом Ритвельта, для указанных частиц оксида церия имеет значение 0,01 - 0,70. Технический результат - обеспечение возможности полирования поверхности таких объектов, как изолирующие пленки диоксида кремния, при высокой скорости, не создавая на них царапин. 2 с. и 13 з. п. ф-лы.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"