|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЛИНЗА УСТАНОВКИ ШАГОВОГО МУЛЬТИПЛИЦИРОВАНИЯ, ИЗГОТОВЛЕННАЯ ИЗ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА |  |
Номер публикации патента: 2175647 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C03B019/06 | | Аналоги изобретения: | US 4789389 A, 06.12.1988. US 5523266 A, 04.06.1996. US 3933454 A, 20.01.1976. SU 169218 A, 26.04.1965. SU 1723057 A, 30.03.1992. |
| Имя заявителя: | Корнинг Инкорпорейтед (US) | | Изобретатели: | БОРРЕЛЛИ Николас Ф. (US)
СЬЮАРД Томас П. (US)
СМИТ Чарлин (US) | | Патентообладатели: | Корнинг Инкорпорейтед (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к линзам из кварцевого стекла для установки шагового мультиплицирования, пригодным для использования в фотолитографии при длинах волн 193 и 248 нм. Технический результат изобретения - получение линзы, стойкой по отношению к вызванным воздействием лазера разрушениям, в частности к сжатию или уплотнению.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента