|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МИКРОНАГРЕВАТЕЛЬ |  |
Номер публикации патента: 2170992 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L023/34 | | Аналоги изобретения: | Зайцев Ю.В. и др. Полупроводниковые термоэлектрические преобразователи. - M.: Радио и связь, 1985, с.51. JP 08062011 A, 08.03.1996. JP 06084604 A, 25.03.1994. RU 2058604 C1, 20.04.1996. RU 2074429 C1, 27.02.1997. US 3996447 A, 07.12.1976. JP 02306568 A, 19.12.1990. US 4574264 A, 04.03.1986. |
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | | Изобретатели: | Андреев В.М.
Зиновьев Д.В.
Тузовский К.А. | | Патентообладатели: | Московский государственный институт электронной техники (технический университет) |
Реферат | |
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, более конкретно - к микроприборам, в которых требуется поддержание заданной, повышенной по сравнению со средой температуры. Микронагреватель содержит резистор, токовводы и металлические контактные площадки. Резистор и токовводы выполнены из монокристаллической кремниевой фольги. Микронагреватель имеет форму полоски переменного сечения, широкая часть которой является резистором, а узкая - токовводами, в которых сформированы области низкоомного кремния и имеется силицидное покрытие. При этом окончания токовводов выполняются в виде площадок с сформированными на них металлическими контактами. В результате получен микронагреватель с малой инертностью, большим диапазоном рабочих температур, экстремальным характером зависимости сопротивления от температуры. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента