|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ТИПА А2IВ>VI И СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ТИПА А2IВ>VI |  |
Номер публикации патента: 2170991 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/46 | | Аналоги изобретения: | JP 5640496, 21.09.1981. JP 5640498, 21.09.1981. SU 428485, 24.04.1975. |
| Имя заявителя: | Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова | | Изобретатели: | Мустафаев А.Г.
Тешев Р.Ш. | | Патентообладатели: | Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова |
Реферат | |
Изобретение относится к материаловедению полупроводников. Технический результат изобретения заключается в получении высококачественной поверхности полупроводников AI 2 V1, имеющей высокие электрофизические характеристики. Сущность: используют композицию, содержащую 2 - 20% аморфного аэросила, 3 - 60% кислотного травителя, 20 - 95% воды, при следующих режимах обработки: удельное давление на образцы 100 - 150 г/см2, скорость подачи композиции 20 - 25 мл/мин, скорость вращения полировального стола 230 - 280 об/мин, длительность полирования 20 - 90 мин.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента