|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ АМОРФНОГО ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2168795 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/205 | | Аналоги изобретения: | RU 2100477 C1, 27.12.1997. RU 2061281 C1, 27.05.1996. US 4933203 A, 12.01.1990. US 5723034 A, 03.03.1998. |
| Имя заявителя: | Институт микроэлектроники РАН | | Изобретатели: | Бердников А.Е.
Черномордик В.Д.
Попов А.А.
Будагян Б.Г.
Шерченков А.А. | | Патентообладатели: | Институт микроэлектроники РАН |
Реферат | |
Использование: в твердотельной электронике. Сущность изобретения: способ включает разложение моносилана в плазме тлеющего разряда с образованием продуктов реакции и осаждение из них пленки в плазме тлеющего разряда на подложку. Новым является то, что при разложении и осаждении используют плазму тлеющего разряда с частотой 45-65 кГц. Техническим результатом изобретения является повышение скорости роста осаждаемой пленки. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента