|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПЕКТРАЛЬНО - КОРРЕЛЯЦИОННЫЙ СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ СЛОЕВЫХ ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 2168238 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | D.LEONARD et al. Critical layer thickness for self-assemdled InAs islands on GaAs. PHYSICAL REVIEW. V. 50, № 16,15 october 1994-II, p.11687-11692. ДМИТРИЕВА Н.Е. и др. Исследование некоторых оптических свойств твердых растворов системы InAs-GaAs. Научные труды. Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности. 1973, 46, с. 74-77. ГЕОРГОБИАНИ А.Н. и др. Исследование фундаментальных переходов в широкозонных полупроводниках методами модуляционной спектроскопии. Труды Физического института АН СССР. 1985, 163, с. 3-38. RU 1 783 933 A1, 28.02.1994. |
| Имя заявителя: | Хабаров Юрий Васильевич | | Изобретатели: | Хабаров Ю.В. | | Патентообладатели: | Хабаров Юрий Васильевич |
Реферат | |
Использование: в технике экспериментальных исследований планарных слоевых структур, например полупроводниковых эпитаксиальных структур, для исследования широкого класса явлений в физике твердого тела и физики полупроводников. Сущность изобретения: способ заключается в формировании экспериментальных образцов, содержащих скоррелированные планарно неоднородные слои в составе исследуемой слоевой структуры и вспомогательные планарно неоднородные слои, несущие информацию о характере сформированной планарной неоднородности, исследовании локальных фрагментов планарно неоднородной структуры с помощью спектроскопического метода с выявлением спектральных параметров исследуемых и вспомогательных слоев и анализа корреляционной связи спектральных параметров исследуемых и вспомогательных слоев. Способ применим к различным физическим задачам и позволяет получать квазинепрерывные зависимости с малым шагом вариации исходных параметров, большой объем информации для статического анализа с каждого экспериментального образца. Техническим результатом изобретения является обеспечение широких функциональных возможностей и высокой информативности способа исследования при минимизации количества экспериментальных образцов. 1 з.п.ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента