|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ И СПОСОБ ЕГО РАБОТЫ |  |
Номер публикации патента: 2167466 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J003/04 H01J037/08 | | Аналоги изобретения: | ГАВРИЛОВ Н.В. и др. Генерация однородной плазмы в тлеющем разряде с полым анодом и широкоапертурным полым катодом. - Письма в ЖТФ, 1999, т. 25, вып. 12, с. 83-88. GB 2064856 А, 17.06.1981. JP 57-11448 A, 21.01.1982. DE 3429591 A1, 21.03.1985. |
| Имя заявителя: | Бугров Глеб Эльмирович | | Изобретатели: | Бугров Г.Э.
Кондранин С.Г.
Кралькина Е.А.
Павлов В.Б. | | Патентообладатели: | Бугров Глеб Эльмирович
Кондранин Сергей Геннадьевич
Кралькина Елена Александровна
Павлов Владимир Борисович |
Реферат | |
Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно - к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков, и к способам их работы. Изобретение может использоваться в технологических процессах с использованием ионных пучков для нанесения покрытий, ионного ассистирования, ионной имплантации и для изменения свойств материалов. Плазменный источник ионов содержит катодную камеру с газовводом. Полый анод, образующий анодную камеру, сообщен с катодной камерой через выходное отверстие, выполненное в стенке последней. В состав источника ионов входит электрическая система извлечения ионов с эмиссионным электродом, установленным в выходном отверстии анодной камеры. С помощью магнитной системы в катодной и анодной камерах создается магнитное поле с вектором индукции преимущественно осевого направления. В катодной камере установлен поджигной электрод, электрически соединенный с полым анодом. В выходном отверстии катодной камеры установлен дополнительный электрод, который электрически изолирован от полого анода и катодной камеры. В дополнительном электроде выполнено осевое отверстие, диаметр d которого не превышает 0,1D, где D - максимальный внутренний поперечный размер полого анода. Указанное выполнение источника ионов и способ его работы позволяют повысить энергетическую эффективность и газовую экономичность устройства и повысить однородность плотности генерируемого ионного тока. 2 с. и 24 з.п.ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента