|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПИРОЛИТИЧЕСКИЙ РОМБОЭДРИЧЕСКИЙ НИТРИД БОРА И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2167224 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B029/38 C30B025/02 C01B021/064 | | Аналоги изобретения: | ШАРУПИН В.Н. и др. Свойства пиролитического ромбоэдрического нитрида бора. - Известия АН СССР. Неорганические материалы, 1996, т.32, № 6, с.690. WO 86/05169 A1, 12.09.1986. RU 2034642 C1, 10.05.1995. RU 2061113 C1, 27.05.1996. EP 0504960 A1, 23.09.1992. US 5011790 A1, 30.04.1995. US 4551195 A1, 05.11.1985. DE 4423987 A1, 12.01.1995. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "Ромбонит" | | Изобретатели: | Шарупин Б.Н.
Тупицина Е.В.
Осмаков А.С.
Маметьев Р.Ю. | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "Ромбонит" |
Реферат | |
Изобретение относится к тугоплавким соединениям, а именно пиролитическому ромбоэдрическому нитриду бора и технологии его получения методом химического осаждения из газовой фазы. Пиролитический ромбоэдрический нитрид бора используется для изготовления различных деталей (стержней-теплоотводов, окон вывода энергии) для приборов СВЧ. Технический результат - получение высокоориентированного пиролитического нитрида бора, содержащего до 100% ромбоэдрической фазы, представляющей собой набор негофрированных микрослоев толщиной 50 - 70 нм, коэффициент отражения 0,58 - 0,62 при длине волны λ = 457 нм и плотность 2,21 - 2,27 г/см3. Нитрид бора содержит от 0 до 25% гексагональной фазы. Для получения пиролитического ромбоэдрического нитрида бора с указанными характеристиками и для увеличения скорости его осаждения в реактор подают раздельные потоки газообразных трифторида бора и аммиака, причем трифторид бора перед смешением с потоком аммиака обогащают бором до образования низших фторидов бора путем пропускания его потока через борсодержащую шихту при температуре 1600 - 2000oC, а осаждение нитрида бора осуществляют при взаимодействии газообразных низших фторидов бора с аммиаком при температуре 1550 - 1700oC, давлении 1 - 5 мм Hq и соотношении потоков BF3 и NН3 от 1:1 до 1:6. В качестве борсодержащей шихты используют аморфный бор, карбид бора, отходы нитрида бора или их смесь. 2 с. и 3 з.п.ф-лы, 3 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента