|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАТРИЦА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ УПРАВЛЯЕМЫХ ЗЕРКАЛ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ОПТИЧЕСКОЙ ПРОЕКЦИОННОЙ СИСТЕМЕ |  |
Номер публикации патента: 2166784 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G02B026/08 | | Аналоги изобретения: | US 5172262 A, 15.02.1992. US 5247222 A, 21.09.1993. US 4793699 A, 27.12 1988. SU 1439518 А1, 23.11.1988. |
| Имя заявителя: | ДЭУ ЭЛЕКТРОНИКС КО., ЛТД. (KR) | | Изобретатели: | Йонг-Ки МИН (KR) | | Патентообладатели: | ДЭУ ЭЛЕКТРОНИКС КО.
ЛТД. (KR) |
Реферат | |
Матрица M x N тонкопленочных управляемых зеркал содержит активную матрицу, изолирующий слой, слой, останавливающий травление, и матрицу из M x N приводных структур. Каждая из приводных структур имеет на удаленном конце наконечник и травильное отверстие, проходящее сквозь нее, и содержит первый тонкопленочный элемент, смещающийся под действием электрического поля, второй тонкопленочный электрод, упругий элемент и перемычку.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента