|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК АМОРФНОГО КРЕМНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2165476 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/24 C23C016/50 | | Аналоги изобретения: | JP 57-42523 A, 10.03.1982. JP 59-136475 A, 06.08.1984. WO 99/28528 A1, 10.06.1999. EP 0143701 A1, 05.06.1985. EP 0488112 A1, 03.06.1992. EP 0861148 A1, 15.10.1997. RU 2061281 C1, 27.05.1996. SU 1400464 A1, 20.07.1999. |
| Имя заявителя: | Омский государственный университет | | Изобретатели: | Струнин В.И.
Баранова Л.В.
Худайбергенов Г.Ж. | | Патентообладатели: | Омский государственный университет |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения пленок аморфного кремния и может быть использовано в современной оптоэлектронике и интегральной оптике для создания тонкопленочных солнечных элементов и транзисторных матриц большой площади для жидкокристаллических дисплеев. Сущность изобретения заключается в том, что в способе нанесения пленки аморфного кремния путем осаждения на нагретую подложку в процессе разложения силаносодержащих газовых смесей разложение газовой смеси осуществляют в коронном ра
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента