|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННЫХ МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ МЕМБРАН CVD - МЕТОДОМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 2164047 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/205 C23C016/18 | | Аналоги изобретения: | George Xomeritakis, Annual Meeting Session 11, American Institute of Chemical Engeneers, "CVD-Synthesis and Gas Permeation Properties of Thin Palladium Membranes", Paper 11d, 1997. US 5360635 A, 01.11.1994. US 5439706 A, 08.08.1995. RU 2148679 C1, 10.05.2000. RU 2010043 C1, 30.03.1994. RU 2046161 C1, 20.10.1995. SU 612316 A, 25.06.1978. |
| Имя заявителя: | Гадалова Ольга Евгеньевна | | Изобретатели: | Гадалова О.Е.
Скудин В.В.
Нефедова Н.В.
Михайличенко А.И. | | Патентообладатели: | Гадалова Ольга Евгеньевна
Скудин Валерий Всеволодович
Нефедова Наталья Владимировна
Михайличенко Анатолий Игнатьевич |
Реферат | |
Использование: в химической технологии для получения композиционных металлокерамических мембран CVD-методом с использованием металлоорганических соединений (МОС). Сущность изобретения: для получения композиционных металлокерамических мембран с активным рабочим слоем из Мо на внешней поверхности пористой керамической подложки проводят CVD-процесс при следующих условиях: температура испарения Мо(СО)6 - 60-70°С, температура нагрева подложки - 400°С, расход газа-носителя (N2) - 60л/ч, продолжительность процесса осаждения не менее 6 ч. Для получения металлокерамических мембран использована установка с вертикальным реактором, включающим зоны сублимации и осаждения и снабженным электрическим микронагревателем чашечки с МОС, регулируемой системой охлаждения и нагрева испарителя и обратным газовым клапаном. Техническим результатом изобретения является получение композиционных металлокерамических мембран с активным рабочим слоем из Мо при минимальном уменьшении объемной пористости, а также создание устройства для этого. 2 с.п. ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента