На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ЛАЗЕРНЫЙ ПРОЕКЦИОННЫЙ МИКРОСКОП | |
Номер публикации патента: 2162616 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G02B021/00 | Аналоги изобретения: | DE 3202075 A1, 04.08.83. WO 81/02951 A1, 15.10.81. RU 1597831 A1, 07.10.90. |
Имя заявителя: | Владимирский региональный научно-координационный центр "Владренако" | Изобретатели: | Батенин В.М. Климовский И.И. Калинин С.В. Галкин А.Ф. Данилов С.Ю. Прокошев В.Г. Абрамов Д.В. Аракелян С.М. | Патентообладатели: | Владимирский региональный научно-координационный центр "Владренако" |
Реферат | |
Изобретение относится к квантовой электронике, а именно к лазерным проекционным системам, и может быть использовано для неразрушающего контроля больших интегральных схем, процессов обработки материалов концентрированными потоками энергии в промышленности, исследования микрообъектов в медицине и биологии. Лазерный проекционный микроскоп содержит установленные соосно лазерный усилитель, объектив, телевизионную камеру, сопряженную с компьютером, на приемном устройстве которой при помощи системы формирования изображения формируется изображение наблюдаемого объекта. Система формирования изображения лазерного проекционного микроскопа выполнена трехлинзовой. Первая и вторая линзы жестко зафиксированы относительно друг друга так, что задний фокус первой линзы совмещен с передним фокусом второй линзы, третья линза жестко закреплена относительно приемного устройства системы регистрации изображения, расстояние от наблюдаемого объекта до первой линзы l1 выбрано из условия l1 > (f1 + f2) · f1 / f2, где f1 и f2 - фокусные расстояния первой и второй линзы соответственно. При перемещении объекта наблюдения вдоль оптической оси изображение объекта наблюдения после второй линзы сдвинется и изменится расстояние от него до третьей линзы. Перемещением системы первой и второй линз относительно третьей линзы расстояние приводится в исходное состояние, а значит, размер изображения наблюдаемого объекта на приемном устройстве телекамеры также приводится в исходный. Необходимое перемещение системы первой и второй линз строго пропорционально перемещению объекта наблюдения с коэффициентом пропорциональности: K = (f1 / f2) / [1 - (f1 / f2)] . Технический результат - сохранение неизменным размера изображения наблюдаемого объекта на приемном устройстве при измерении его положения вдоль оптической оси и как следствие увеличение точности контроля. 2 ил.
|