|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП |  |
Номер публикации патента: 2161343 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 G11B011/08 | | Аналоги изобретения: | Rev.Sci.Instrum.66(2), (q.Dai), November 1995, p.5266-5271. JP 1-216204 A, 30.08.1989. GB 2197752 A, 25.05.1988. JP 02134502 A, 23.05.1990. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" | | Изобретатели: | Быков В.А.
Иванов В.К.
Саунин С.А.
Соколов Д.Ю. | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Микроскоп содержит первую и вторую вакуумные камеры, манипулятор, платформу, на которой закреплены привод со сканером, держатель зонда с зондом, а также источник света и фотоприемник, оптически сопряженные с зондом, плиту с держателем объекта, сопряженную с платформой посредством привода, систему подвеса, фланец с
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента