|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОДНОСТОРОННЕГО ПОЛИРОВАНИЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ |  |
Номер публикации патента: 2159173 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B24B001/00 B24B037/04 | | Аналоги изобретения: | Алмазно-абразивная доводка деталей. - М.: НИИмаш, 1972, с.93, рис.36а. SU 1530420 A1, 23.12.1989. SU 1065165 A, 07.01.1984. SU 1139616 A, 15.02.1985. SU 965740 A, 18.10.1982. SU 648389 A, 28.02.1979. US 3968598 A, 13.07.1976. |
| Имя заявителя: | Шульга Владимир Григорьевич,Денисенко Валерий Павлович,Козлов Юрий Федорович,Хохлов Анатолий Ильич | | Изобретатели: | Шульга В.Г.
Денисенко В.П.
Козлов Ю.Ф.
Хохлов А.И. | | Патентообладатели: | Шульга Владимир Григорьевич
Денисенко Валерий Павлович
Козлов Юрий Федорович
Хохлов Анатолий Ильич |
Реферат | |
Изобретение относится к области отделочной обработки плоских прецизионных поверхностей, в частности к химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра. Последние установлены с возможностью вращения вокруг своих осей и оси шпинделя, расположены эксцентрично относительно оси вращения инструмента.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента