|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАНТИЛЕВЕР ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2153731 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 G11B011/08 | | Аналоги изобретения: | RU 2124780 C1, 10.01.1999. RU 2124251 C1, 27.12.1998. US 4943719 A, 24.07.1990. US 5729026 A1, 17.03.1998. US 5753912 A1, 19.05.1998. US 5570336 A1, 29.10.1996. |
| Имя заявителя: | Ибрагимов Азат Ряшидович | | Изобретатели: | Ибрагимов А.Р.
Рабухин А.Л. | | Патентообладатели: | Ибрагимов Азат Ряшидович
Рабухин Антон Леонидович |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Предлагаемый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа включает основание, к которому крепятся одна или несколько балок, на дальнем от основания конце каждой из которых расположено по игле. Каждая балка кантилевера выполнена с поперечным утончением с треугольным сечением. Изобретение позволяет увеличить нормальную чувствительность кантилевера при сохранении без изменений паразитной поперечной чувствительности, упростить технологию производства кантилевера при увеличении повторяемости параметров устройства, повысить механическую прочность кантилевера, уменьшить нелинейность зависимости направления отраженного от балки кантилевера лазерного луча от нормального усилия, приложенного к балке, изготавливать кантилеверы с заданной частотой собственных резонансных колебаний балки. 5 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента