|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП |  |
Номер публикации патента: 2152103 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 G11B011/08 | | Аналоги изобретения: | Rev. Sei. Instrum 66(II), November 1995. p.5266 - 5271. ЕР 0640829 А2, 01.03.1995. SU 1550457 А1, 15.03.1990 SU 1531181 А1, 23.12.1987. US 5157256, 20.10.1992. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" | | Изобретатели: | Быков В.А.
Гражулис В.А.
Божко С.И.
Саунин С.А.
Соколов Д.Ю. | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах в условиях сверхвысокого вакуума и в широком диапазоне температур. В сверхвысоковакуумном сканирующем зондовом микроскопе, содержащем платформу с объектным блоком, состоящим из первого ловителя, держателя объекта, сопряженного с первым нагревателем и хладопроводом, плиту со сканером и держателем зонда, сопряженную с
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента