Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Выставки Бизнес Карта сайта
 
Банк
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДОСОДЕРЖАЩИХ, В ТОМ ЧИСЛЕ АЛМАЗОПОДОБНЫХ, ПОКРЫТИЙ

Номер публикации патента: 2142344

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 98110374 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: B05D003/06   C23C014/00    
Аналоги изобретения: US 5352493 A, 04.10.94. RU 94042112 A1, 20.10.96. RU 2118206 C1, 27.08.98. US 4842945 A, 27.06.89. US 5277940 A, 11.01.94. WO 9220464 A, 26.11.92. US 5358754 A, 25.10.94. US 5427827 A, 27.06.95. 

Имя заявителя: Пыпкин Борис Николаевич 
Изобретатели: Пыпкин Б.Н.
Шупегин М.Л. 
Патентообладатели: Пыпкин Борис Николаевич
Шупегин Михаил Леонидович 

Реферат


Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий, покрытий, устойчивых к химическим воздействиям и воздействию окружающей среды. Технический результат изобретения направлен на повышение качества покрытия, заключающееся в уменьшении внутренних упругих напряжений и увеличении адгезии, что приводит к увеличению максимально достижимой толщины покрытия. Способ получения углеродосодержащих, в том числе алмазоподобных, покрытий, включает создание плазмы в вакуумной камере испарением жидкого углеводорода с подачей высокочастотного напряжения на подложкодержатель, при этом перед началом процесса камеру откачивают до давления не выше 2 · 10-3 торр, подают на термокатод, анод и подложкодержатель напряжения, обеспечивающие стационарный процесс осаждения и нагрев керамического натекателя для подачи жидкого углеводорода до 300-900°С, подают в камеру аргон до возникновения устойчивого горения плазмы, выдерживают 3-25 мин, а затем изолируют подложки от потока плазмы, включают подачу жидкого углеводорода через керамический натекатель и не менее чем через 1 мин после этого прекращают подачу аргона и затем изоляцию подложек.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.222
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"