|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМОВАНИЯ СТРУКТУР, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ТЕХНИКЕ МИКРОСИСТЕМ, И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2141895 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B29C059/02 B29C043/56 | | Аналоги изобретения: | DE 4222856 C1, 27.05.93. SU 213763 A, 20.03.68. DE 4010669 C1, 11.04.91. US 5078947 A, 07.01.92. US 4612149 A, 16.09.86. EP 0237871 A1, 23.09.87. US 4551085 A, 05.11.85. SU 653119 A, 25.03.79. |
| Имя заявителя: | Йеноптик Акциенгезельшафт (DE) | | Изобретатели: | Луц Мюллер (DE)
Франк Ройтер (DE)
Альф Шпрингер (DE)
Маттиас Хеккеле (DE)
Ханс Бидерманн (DE) | | Патентообладатели: | Йеноптик Акциенгезельшафт (DE) | | Номер конвенционной заявки: | 19648844.3 | | Страна приоритета: | DE |
Реферат | |
Изобретение относится к формованию структур, используемых в технике микросистем. В способе формования структур внутри камеры, закрываемой путем перемещения подвижной части камеры в направлении к ее неподвижной части, создают вакуум или атмосферу защитного газа и температуру формования, соответствующую формуемому материалу. Причем создание вакуума или атмосферы защитного газа в камере начинают в тот момент, когда при закрывании камеры действующее на неподвижную часть камеры усилие достигнет заданного значения. После создания указанных условий формуемый материал вдавливают с усилием формования в формирующий инструмент в течение заданного периода времени. Устройство для формования структур содержит пару противолежащих частей закрываемой камеры, которые служат опорой для крепления формующего инструмента и формуемого материала. Одна из частей камеры закреплена неподвижно на станине, а другая установлена с возможностью перемещения на направляющих в раме. Камера имеет боковые стенки, состоящие из внутренней и наружной частей. Внутренняя часть боковых стенок закреплена на неподвижной части камеры. Наружная часть, к обращенной наружу торцевой поверхности которой при закрывании камеры против действия пружины прилегает подвижная часть камеры, установлена с возможностью перемещения вдоль направляющих на неподвижной части камеры между двумя упорами. Расстоянием между упорами определяется ширина открытия камеры. Изобретение обеспечивает компенсацию колебаний толщины формующих инструментов с соблюдением высокой точности размеров и гарантирует различные глубины формования. 2 с. и 7 з.п.ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента