Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Выставки Бизнес Карта сайта
 
Банк
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ УГЛЕРОДОСОДЕРЖАЩИХ ПОКРЫТИЙ

Номер публикации патента: 2141006

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 98117161 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C23C016/26   B05D003/06    
Аналоги изобретения: US 5352493 A1, 04.10.94. RU 2118206 C1, 27.08.98. US 5185067 A, 09.02.93. US 5192523 A, 09.03.93. EP 0175980 A2, 02.04.86. EP 0201696 A2, 20.11.86. WO 95/08657 A1, 30.03.95. 

Имя заявителя: Пыпкин Борис Николаевич 
Изобретатели: Пыпкин Б.Н.
Шупегин М.Л. 
Патентообладатели: Пыпкин Борис Николаевич
Шупегин Михаил Леонидович 

Реферат


Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания углеродсодержащих покрытий с новыми уникальными свойствами. Способ включает создание плазмы в вакуумной камере с испарением жидкого углеводорода и пучка частиц легирующего материала с подачей высокочастотного напряжения на подложкодержатель, при этом перед началом процесса камеру откачивают до давления не выше 2 · 10-3 Торр, подают на термокатод, анод и подложкодержатель напряжение, обеспечивающее стационарный процесс осаждения и нагрев керамического натекателя для подачи жидкого углеводорода до 300 - 900oC, подают в камеру аргон до возникновения устойчивого горения плазмы, выдерживают 3 - 25 мин, а затем изолируют подложки от потока плазмы и доводят давление аргона в камере выше 3 · 10-4 Торр, после чего включают подачу жидкого углеводорода и источник частиц легирующего материала и по истечении не менее 1 мин изоляцию подложек прекращают. Изобретение позволяет повысить качество покрытий.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.222
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"