|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ УГЛЕРОДОСОДЕРЖАЩИХ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2141006 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C016/26 B05D003/06 | | Аналоги изобретения: | US 5352493 A1, 04.10.94. RU 2118206 C1, 27.08.98. US 5185067 A, 09.02.93. US 5192523 A, 09.03.93. EP 0175980 A2, 02.04.86. EP 0201696 A2, 20.11.86. WO 95/08657 A1, 30.03.95. |
| Имя заявителя: | Пыпкин Борис Николаевич | | Изобретатели: | Пыпкин Б.Н.
Шупегин М.Л. | | Патентообладатели: | Пыпкин Борис Николаевич
Шупегин Михаил Леонидович |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания углеродсодержащих покрытий с новыми уникальными свойствами. Способ включает создание плазмы в вакуумной камере с испарением жидкого углеводорода и пучка частиц легирующего материала с подачей высокочастотного напряжения на подложкодержатель, при этом перед началом процесса камеру откачивают до давления не выше 2 · 10-3 Торр, подают на термокатод, анод и подложкодержатель напряжение, обеспечивающее стационарный процесс осаждения и нагрев керамического натекателя для подачи жидкого углеводорода до 300 - 900oC, подают в камеру аргон до возникновения устойчивого горения плазмы, выдерживают 3 - 25 мин, а затем изолируют подложки от потока плазмы и доводят давление аргона в камере выше 3 · 10-4 Торр, после чего включают подачу жидкого углеводорода и источник частиц легирующего материала и по истечении не менее 1 мин изоляцию подложек прекращают. Изобретение позволяет повысить качество покрытий.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента