|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2141005 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/58 C23F004/04 | | Аналоги изобретения: | Плазменная технология в производстве СБИС. - М.: Мир, 1987, с.469. A.Baranov, S.Tereshin, I.Mikhailov, Proc. SPIE, 1996, v.2863, p.359 - 367. SU 211265 A, 25.05.76. SU 358427 A, 03.11.72. SU 256461 A, 04.11.69. DE 3902418 A1, 17.08.89. GB 2274590 A, 03.08.94. US 4810335 A, 07.05.89. US 4906347 A, 06.05.90. EP 0393637 A1, 24.10.90. |
| Имя заявителя: | Баранов Александр Михайлович | | Изобретатели: | Баранов А.М. | | Патентообладатели: | Баранов Александр Михайлович |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии тонких пленок и может быть использовано при создании элементов рентгеновской и нейтронной оптики. Способ включает воздействие на поверхность плазмы инертных и химически активных газов, обеспечивающих травление поверхностного слоя с одновременной полировкой поверхности, при этом травлению подвергают поверхность не самого материала, а пленку того же или иного материала, предварительно нанесенную на него из газовой фазы испарением или распылением мишени. Устройство содержит держатель образца и систему формирования плазмы, размещенные в вакуумной камере, причем держатель образца выполнен произвольной формы с возможностью подачи на него переменного напряжения и дополнительного постоянного смещения и возможностью размещения его в постоянном или переменном магнитном поле. Изобретение позволяет уменьшить шероховатость поверхности за счет проведения ионно-плазменной полировки. 2 с. и 3 з.п. ф-лы, 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента