Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ"

Номер публикации патента: 2137252

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 98104344 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/322    
Аналоги изобретения: Уэбер С. Эффективные методы изготовления СБИС повышенной радиации стойкости. Электроника, 1987. т.60, № 24, с.45-52. JP 1225130 A, 08.09.89. RU 2071145 C1, 27.12.96 

Имя заявителя: Научно-исследовательский институт измерительных систем 
Изобретатели: Скупов В.Д. 
Патентообладатели: Научно-исследовательский институт измерительных систем 

Реферат


Использование: в области производства полупроводниковых приборов. Технический результат: повышение качества приборных слоев структур "кремний на изоляторе" за счет снижения их дефектности. Сущность изобретения: производят термокомпрессионное соединение через слой диэлектрика рабочей пластины и пластины-носителя, производят облучение со стороны рабочей пластины ионами средних энергий дозами выше дозы аморфизации кремния, а затем производят абразивно-химическое утонение рабочей пластины до заданной толщины приборного слоя. 1 табл.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"