|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ НА ПЛАСТИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2137251 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/304 | | Аналоги изобретения: | Запорожский В.П. Лапшинов Б.А. Обработка полупроводниковых материалов. -М.: Высшая школа, 1988, с. 38-54. RU 2105380 С1, 20.02.98. RU 2032248 С1, 27.03.95. ЕР 0313714 A2, 03.05.89. |
| Имя заявителя: | Рогов Владимир Викторович | | Изобретатели: | Рогов В.В. | | Патентообладатели: | Рогов Владимир Викторович |
Реферат | |
Использование: при изготовлении полированных пластин. Технический результат изобретения - повышение качества резки за счет улучшения условий работы режущей кромки в зоне резания. Сущность: в способе резки полупроводниковых монокристаллов на пластины, включающем наклейку мастикой монокристалла на держатель, относительное перемещение вращающегося алмазного круга и монокристалла на держателе с подачей в зону резания охлаждающей жидкости, в мастику в качестве наполнителя вводят стружку полупроводниковых материалов после резки алмазным кругом с той же зернистостью, с которой режут полупроводниковый монокристалл, а монокристалл обмазывают мастикой на высоту по крайней мере на 2/3 от диаметра монокристалла. Кроме того, стружку используют после резки различных полупроводниковых материалов, т.е. смесь частиц разных полупроводниковых материалов. 1 з.п. ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента