На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Номер публикации патента: 2137249

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  98105174		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в технологии изготовления микромеханических приборов, в частности микрогироскопов, микроакселерометров, микродатчиков давления, из кремнийсодержащих полупроводниковых структур. Способ предусматривает изготовление микромеханических приборов из кремнийсодержащей полупроводниковой структуры, предусматривающий нанесение на подложку пленки из проводящего монокристаллического кремнийсодержащего материала, отделенного от подложки слоем диэлектрика, с последующим вытравливанием участков пленки для формирования измерительного узла, удалением слоя диэлектрика для освобождения подвижных элементов измерительного узла и созданием электрических контактов для средств измерения. В качестве исходного материала используют эпитаксиально выращенную полупроводниковую сэндвич-структуру, содержащую пленку из карбида кремния, отделенную от подложки слоем нитрида алюминия. Для установления момента окончания операции травления диэлектрика в пленке полупроводника дополнительно формируют изолированный тестовый участок с линейными размерами из расчета всплывания полупроводниковой пленки тестового участка при травлении расположенного под ним слоя диэлектрика в момент, гарантирующий достижение заданных размеров оставшихся частей изготавливаемого изделия. Технический результат изобретения - повышение механической, температурной и радиационной стойкости микромеханических приборов. 2 з.п.ф-лы, 3 табл., 4 ил.

Вернуться к списку