|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2136590 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C01B033/03 | | Аналоги изобретения: | Производство полупроводникового кремния за рубежом, Министерство цветной металлургии СССР. ЦНИИЦветмет экономики и полупроводниковых материалов", вып.1, 1983, с.14 - 28. RU 2116963 C1, 10.08.98. US 5126112 A, 30.06.92. US 5284640 A, 08.02.94. |
| Имя заявителя: | Государственный научный центр РФ Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет" | | Изобретатели: | Бочкарев Э.П.
Елютин А.В.
Иванов Л.С.
Левин В.Г. | | Патентообладатели: | Государственный научный центр РФ Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет" |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано для получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана в режиме химической рециркуляции. Способ получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана на кремниевые стержни-основы включает предварительную очистку исходных компонентов - водорода и трихлорсилана, приготовление парогазовой смеси в испарителе, осаждение кремния на нагретых кремниевых стержнях в реакторе восстановления, регенерацию компонентов отходящей парогазовой смеси путем фракционной конденсации хлорсиланов и хлористого водорода и возврата непрореагировавших трихлорсилана и водорода на стадию приготовления парогазовой смеси для восстановления кремния. Приготовление парогазовой смеси для восстановления осуществляют путем барботажа водорода через слой трихлорсилана в испарителе, отходящую после восстановления парогазовую смесь перед фракционной конденсацией подвергают жидкостному компримированию для создания в системе аппаратов давления, необходимого для рециркуляционной подачи парогазовой смеси в реактор восстановления; полученный после фракционной конденсации конденсат хлорсиланов подвергают ректификации с выделением в отдельный продукт трихлорсилана и тетрахлорида кремния; подачу парогазовой смеси в реактор восстановления осуществляют в количестве, пропорциональном площади поверхности кремниевых стержней в момент подачи; количество парогазовой смеси определяют зависимостью
перед восстановлением осуществляют предварительный (стартовый) нагрев стержней плазменным нагревом, для нагрева используют в качестве плазмообразуюшего газа азот, перед восстановлением кремниевые стержни-основы подвергают травлению хлористым водородом, полученным после фракционной конденсации отходящей парогазовой смеси. После окончания восстановления образующиеся в процессе полихлориды со стенок реактора удаляют смесью тетрахлорида кремния и водорода при мольном отношении 1 : 1, снижаются энергозатраты, повышается качество кремния, производительность процесса, экологическая безопасность, снижается расход реагентов на единицу продукции, 8 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента