На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ЗАГРЯЗНЕНИЙ С ОБРАБАТЫВАЕМОЙ ИЗЛУЧЕНИЕМ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2136467

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95119598		Получить полное описание патента

Реферат

Способ включает в себя стадии: введения ламинарного потока газа по упомянутой обрабатываемой поверхности, причем упомянутый газ является инертным в отношении обрабатываемой поверхности, и облучения упомянутой обрабатываемой поверхности излучением высоких энергий, причем упомянутое излучение обладает плотностью энергии и длительностью воздействия, достаточными для удаления поверхностных загрязнений с обрабатываемой поверхности и недостаточными для изменения кристаллической структуры обрабатываемой поверхности. Упомянутый газовый поток поддерживают по обрабатываемой поверхности подложки в ламинарном режиме без образования зон обратного потока. Изобретение также раскрывает устройство для удаления поверхностных загрязнений с обрабатываемой поверхности подложки при сохранении кристаллической структуры обрабатываемой поверхности. Техническим результатом предложенного изобретения является получение возможности качественного удаления поверхностных загрязнений с поверхности подложки без изменения молекулярной кристаллической структуры или иного нарушения обрабатываемой поверхности, а также без повторного осаждения удаляемых частиц загрязнений на поверхности подложки. 2 с. и 27 з.п.ф-лы, 3 табл., 42 ил.

Вернуться к списку