|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСПАРИТЕЛЬНЫЙ ТИГЕЛЬ |  |
Номер публикации патента: 2133308 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/203 C30B023/08 C23C014/24 | | Аналоги изобретения: | JP 61132589 A, 20.06.86. SU 322422 A, 09.02.72. RU 2064980 A1, 10.08.96. JP 01037496 A, 08.02.89. JP 02038396 A, 07.02.90. JP 60137896 A, 22.07.85. US 4646680 A, 03.03.87. |
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников СО РАН | | Изобретатели: | Якушев М.В.
Сидоров Ю.Г.
Михайлов Н.Н.
Анциферов А.П. | | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников СО РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах. Сущность изобретения: в испарительном тигле, содержащем объем для испаряемого вещества и закрепленный на его горловине сепарирующий элемент, сепарирующий элемент выполнен в виде вставки с винтовым каналом. Использование изобретения позволяет снизить вероятности попадания остаточных паров вакуумного объема в тигель молекулярного источника без значительного уменьшения проводимости тигля и значительно снизить плотность дефектов в эпитаксиальных структурах. Использование изобретения позволило снизить плотность дефектов в пленке теллурида кадмия с величины 2 · 103 см-2 до величины, меньшей чем 1 · 102 см-2. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента