На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПУЧКА НЕЙТРАЛЬНЫХ АТОМОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2133063

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  98108133		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к технике и технологии обработки микроструктур и может быть применено в производстве изделий микроэлектроники. Технический результат: повышение контрастности и четкости изображения, наносимого на микрообъект. Пучок нейтральных атомов формируют лазерным излучением оптического диапазона в три стадии: 1. Атомы охлаждают в интерференционных узлах трехмерной стоячей волны, движущейся параллельно оси пучка со скоростью ν 2. Осуществляют резонансное взаимодействие атомов в вакууме с полем стоячей световой волны излучения, полем бегущей волны охлаждающего оптического излучения и полем бегущей световой волны с заданным поперечным распределением интенсивности. 3. Охлаждаемые попутным излучением атомы разгоняют до рабочей скорости ν₁ вдоль сходящихся линий минимумов интерференционной картины попутного излучения. После выхода из условий резонанса с излучением атомы по инерции достигают обрабатываемой поверхности. Описано устройство для осуществления способа формирования пучка нейтральных атомов, включающее в себя источник нейтральных атомов, оптомагнитный сепаратор, источники когерентного излучения, зеркала с отверстиями, зеркальные аксиконы. 2 с. и 4 з.п. ф-лы, 5 ил.

Вернуться к списку