|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ |  |
Номер публикации патента: 2129984 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/04 | | Аналоги изобретения: | JP 49-27517 A, 18.07.74. SU 327781 A, 05.10.76. GB 1365616 A, 04.09.74. US 4395389 A, 26.07.83. EP 0201919 A2, 20.11.86. |
| Имя заявителя: | Государственный научный центр Российской Федерации - Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений (RU),Всероссийский институт электрификации сельского хозяйства (RU) | | Изобретатели: | Белов Е.П.(RU)
Герливанов В.Г.(RU)
Заддэ В.В.(RU)
Клещевникова С.И.(RU)
Корнеев Н.Н.(RU)
Лебедев Е.Н.(RU)
Пинов А.Б.(RU)
Тсуо Саймон (US)
Рябенко Е.А.(RU)
Стребков Д.С.(RU)
Чернышев Е.А.(RU) | | Патентообладатели: | Государственный научный центр Российской Федерации - Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений (RU)
Всероссийский институт электрификации сельского хозяйства (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу получения моносилана высокой степени чистоты, пригодного для формирования тонкопленочных полупроводниковых изделий, а также поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты различного назначения (полупроводниковая техника, солнечная энергетика). Сущность изобретения заключается в способе получения моносилана высокой чистоты взаимодействием металлического кремния с органическим спиртом в присутствии катализатора при повышенной температуре, выделением из продукто
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента