|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУНКА |  |
Номер публикации патента: 2129294 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F009/00 | | Аналоги изобретения: | US 5561008 A, 01.10.96. FR 2461281 A, 30.01.81. SU 1046734 A, 07.10.83. |
| Имя заявителя: | Гурович Борис Аронович,Долгий Дмитрий Иосифович,Велихов Евгений Павлович,Кулешова Евгения Анатольевна,Аронзон Борис Аронович,Мейлихов Евгений Залманович,Рязанцев Евгений Петрович,Рыльков Владимир Васильевич,Приходько Кирилл Евгеньевич,Домантовский Александр Григорьевич,Штромбах Ярослав Игоревич,Ольшанский Евгений Дмитриевич | | Изобретатели: | Гурович Б.А.
Долгий Д.И.
Велихов Е.П.
Кулешова Е.А.
Аронзон Б.А.
Мейлихов Е.З.
Рязанцев Е.П.
Рыльков В.В.
Приходько К.Е.
Домантовский А.Г.
Штромбах Я.И.
Ольшанский Е.Д. | | Патентообладатели: | Гурович Борис Аронович
Долгий Дмитрий Иосифович
Велихов Евгений Павлович
Кулешова Евгения Анатольевна
Аронзон Борис Аронович
Мейлихов Евгений Залманович
Рязанцев Евгений Петрович
Рыльков Владимир Васильевич
Приходько Кирилл Евгеньевич
Домантовский Александр Григорьевич
Штромбах Ярослав Игоревич
Ольшанский Евгений Дмитриевич |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии создания рисунков с помощью заряженных частиц и может быть использовано при изготовлении различных электронных приборов, запоминающих устройств и т.д., имеющих сложные структуры, состоящие из множества сверхмалых элементов. Способ получения рисунка включает в себя пропускание пучка заряженных частиц через маску и его последующую фокусировку на облучаемую поверхность, при этом пучок, направляемый на маску, формируют с расходимостью 510-2 - 10-4рад и дисперсией за
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента