|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОГРУЗОЧНО - РАЗГРУЗОЧНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН ДЛЯ УСТАНОВКИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 2126191 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/68 H01J037/20 | | Аналоги изобретения: | US 5229615 A, 1993. US 5091655 A, 1992. US 5003183 A, 1991. EP 0458422 A2, 1991. EP 0236072 A2, 1987. EP 0246117 A2, 1987. DE 3709093 A1, 1987. SU 1653203 A1, 1991. |
| Имя заявителя: | Итон Корпорейшн (US) | | Изобретатели: | Роберт Аллен Брюн (US)
Эндрю Марлоу Рэй (US) | | Патентообладатели: | Итон Корпорейшн (US) | | Номер конвенционной заявки: | 172,441 | | Страна приоритета: | US |
Реферат | |
Использование: оборудование ионной имплантации. Техническим результатом изобретения является исключение потребности в ременной передаче в механизме сканирования пластин. Сущность изобретения: погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации содержит стол 28 с поверхностью для приема пластины, узел сканирования и наклона 26, способный работать, вращая стол 28 вокруг оси 52, параллельной плоскости, определенной поверхностью пластины 78, принимаемой столом 28 и способной работать, перемещая стол 28 в направлении сканирования вдоль прямой линии перпендикулярно названной оси. Узел сканирования и наклона содержит первый рычаг, способный вращаться вокруг названной оси, второй рычаг, установленный на первом рычаге для относительного вращения вместе с ним, третий рычаг, установленный на втором рычаге для относительного вращения вместе с ним, причем стол 28 установлен на третьем рычаге. Устройство также содержит первое приводное средство (34, 54, 56), выполненное с возможностью работать, вращая первый рычаг вокруг оси 52, средства, взаимно связанные с первым, вторым и третьим рычагами, выполненные с возможностью работать, перемещая стол 28 в направлении сканирования, второе приводное средство, выполненное с возможностью вращать первый, второй и третий рычаги как один блок вокруг оси 52, и средство 110, выполненное взаимно соединяющим второе приводное средство и третий рычаг для сохранения вращательного положения третьего рычага. При этом средство, взаимно соединяющее второе приводное средство и третий рычаг, содержит линейное подшипниковое средство, имеющее первый узел направляющей, содержащий пару продолговатых направляющих, установленных в фиксированном положении по отношению к второму приводному средству, и узел скользящей каретки, содержащий опору подшипника, выполненную с возможностью зацепления с направляющими, установленными в фиксированном положении по отношению к третьему рычагу. 2 з.п.п. ф-лы, 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента