|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАГНЕТРОННЫЙ ИСТОЧНИК |  |
Номер публикации патента: 2125117 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | WO 95/16058A, C 23 C 14/35, 1994. Данилин Б.С. и Свергин В.К. Магнетронные распылительные системы. - М.: Радио и связь, 1982, с.67 и 68. |
| Имя заявителя: | Егоров Олег Георгиевич | | Изобретатели: | Егоров Олег Георгиевич | | Патентообладатели: | Егоров Олег Георгиевич |
Реферат | |
Использование: техника получения покрытий методом распыления материалов из жидкой фазы. Сущность изобретения: магнетронный источник содержит размещенную в корпусе 1 водоохлаждаемую магнитную систему, тигель 3, выполненный из тугоплавкого немагнитного материала, дополнительный источник 4 расплавленного материала 5 мишени, связанный с полостью тигля 3 через запорный элемент 6 и анод 7. Тигель 3 снабжен также крышкой, выполненной в виде двух пластин 9 из тугоплавкого немагнитного материала со сквозными капиллярными каналами 10, выходящими одним концом на внешнюю поверхность пластин 9, а другим концом на их внутреннюю поверхность. Технический результат: получение высококачественных покрытий за счет возможности размещения магнетронного источника над подложкой с одновременным увеличением длительности рабочего цикла. 1 з.п.ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента