|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МНОГОЗОНДОВЫЙ КАНТИЛЕВЕР ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2124251 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 G11B011/08 | | Аналоги изобретения: | Minne S.C., Manalis S.R. and Quate C.F. "Parallel atomic force microscopy using cantilevers with integrate piezoresistive sensors and integrated piezoelectric actuators", Appl. Phys. Let., v. 67, 1995, p. 3918 - 3920. Blanc N., Brugger J. And de Roij N.F. "Scanning force microscopy in the dynamic mode using microfabri cated capacitive sensors" J.Vacuum Sci. Techn. B 14 (2), 1996, p. 901 - 905. US 51933885A, 16.03.93. SU 1615822 A1, 23.12.90. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "НТ-МДТ" | | Изобретатели: | Быков В.А.
Гологанов А.Н. | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "НТ-МДТ"
Закрытое акционерное общество "Силикон-МДТ |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Изобретение позволяет уменьшить расстояние между соседними сканирующими иглами кантилевера, увеличить динамический диапазон измерений и снизить чувствительность к паразитным воздействиям (температура, изменение электрических свойств среды и т. п. ). Предлагаемый кантилевер содержит основание с укрепленными на нем балками произвольной формы, на дальнем от основания конце которых расположены иглы, причем концы игл лежат в одной плоскости, а каждая балка имеет собственную частоту колебаний, отличную от всех других. 3 з.п.ф-лы. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента