|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПО ЗАМКНУТОМУ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМУ ЦИКЛУ |  |
Номер публикации патента: 2122971 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C01B033/03 C01B033/107 | | Аналоги изобретения: | DE 3139705 A1, 1983. RU 1782936 A1, 1992. RU 1791380 A1, 1993. RU 2038297 C1, 1995. FR 2523113 A, 1983. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Эллина-НТ" | | Изобретатели: | Прохоров А.М.
Петров Г.Н.
Жирков М.С.
Фадеев Л.Л. | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Эллина-НТ" |
Реферат | |
Изобретение относится к области химической технологии получения поликристаллического кремния. Сущность изобретения заключается в способе получения поликристаллического кремния по замкнутому технологическому циклу, включающем водородное восстановление трихлорсилана, разделение и очистку компонентов газовой смеси (SiHCl3, SiCl4, H2,HCl), выходящей из реактора, повторное использование их для получения поликристаллического кремния и синтеза трихлорсилана, при этом газовую смесь продуктов реакций водородного восстановления трехлорсилана охлаждают до 0-40oC, фильтруют от механических примесей, конденсируют при температуре жидкого азота с отделением рециклируемого водорода, сублимируют хлористый водород при минус 85oC, испаряют и разделяют хлорсиланы с последующей подачей трихлороилана в аппарат водородного восстановления, а тетрахлорид кремния вместе с хлористым водородом направляют в аппарат синтеза трихлорсилана при использовании технического кремния. Согласно изобретению обеспечивается замкнутость цикла, повышается качество целевого продукта.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента