|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСТОЧНИК МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ АТОМАРНЫХ ПОТОКОВ |  |
Номер публикации патента: 2119730 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05H003/02 H01J027/02 C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | Плешивцев Н.В. и др. Применение ионных пучков для технологических целей. Итоги науки и техники. Сер.Физические основы лазерной и пучковой технологии. - М.: ВИНИТИ, 1989, т.5, с.87. RU 2004081 C1, 1993. RU 93008687 A, 1995. US 5194128 A, 1993 EP 0633714 A1, 1995. EP 0475199 A2, 1992. |
| Имя заявителя: | Институт ядерной физики СО РАН | | Изобретатели: | Волосов В.И.
Чуркин И.Н.
Стешов А.Г. | | Патентообладатели: | Институт ядерной физики СО РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для получения потоков частиц, используемых, например, для вакуумного нанесения тонких пленок. В качестве источника многокомпонентных атомарных потоков, состоящих из потока тяжелых атомов с энергией распыления, и потока быстрых атомов с энергией, определяемой напряжением на разряде, применяется ловушка с вращающейся плазмой. Изобретение позволяет повысить мощность источника многокомпонентных потоков частиц, упростить его конструкцию, снизить затраты на изготовление и эксплуатацию устройства. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента