Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Выставки Бизнес Карта сайта
 
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ

Номер публикации патента: 2118206

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 97116747 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: B05D003/06   C23C014/00    
Аналоги изобретения: US 5352493 A, 1994. RU 2032765 C1, 1995. RU 94042112 A1, 1996. RU 2068029 C1, 1996. US 5358754 A, 1994. US 5427827 A, 1995. 

Имя заявителя: Пыпкин Борис Николаевич 
Изобретатели: Пыпкин Борис Николаевич
Шупегин Михаил Леонидович 
Патентообладатели: Пыпкин Борис Николаевич
Шупегин Михаил Леонидови 

Реферат


Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для создания проводящих покрытий с уникальными механическими и термическими свойствами, высокой устойчивостью к химическим, электрохимическим воздействиям и воздействию окружающей среды, а также в других областях техники для создания механически прочных, износостойких и химически стойких функциональных и защитных покрытий. Изобретение позволяет получать легированные алмазоподобные пленки с однородным по объему составом. Способ включает в себя создание плазмы в вакуумной камере с испарением кремнийсодержащего углеводорода и пучка частиц легирующего материала с подачей высокочастотного напряжения на подложкодержатель, при этом перед началом процесса камеру откачивают до давления не выше 1·10-5 Торр, подают на термокатод, анод и подложкодержатель напряжения, обеспечивающие стационарный процесс осаждения и нагрев керамического натекателя для подачи кремнийорганического углеводорода до 500 - 800oС, подают в камеру аргон до возникновения устойчивого горения плазмы, выдерживают 5 - 10 мин, а затем изолируют подложки от потока плазмы и повышают давление аргона в камере до 8·10-4-2·10-3 Торр, после чего включают подачу кремнийсодержащего углеводорода с одновременным включением источника частиц легирующего материала и по истечении 3 - 4 мин изоляцию подложек прекращают.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.222
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"