|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЛАВИЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА |  |
Номер публикации патента: 2114938 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B015/10 | | Аналоги изобретения: | SU, авторское свидетельство, 1424379, C 30 B 15/10, 1990. |
| Имя заявителя: | Отделение керамических и полупроводниковых материалов Научно-исследовательского института Научно-производственного объединения "Луч" | | Изобретатели: | Макеев Х.И.
Бабаянц Г.И. | | Патентообладатели: | Отделение керамических и полупроводниковых материалов Научно-исследовательского института Научно-производственного объединения "Луч" |
Реферат | |
Изобретение относится к металлургии полупроводниковых материалов и может быть использовано в конструкции плавильного устройства для выращивания кристаллов из расплава, преимущественно кремния. Сущность изобретения: плавильное устройство состоит из кварцевого тигля, установленного внутри графитовой подставки, и слоя порошка карбида кремния, помещаемого в зазор между тиглем и подставкой, при этом слой порошка карбида кремния локально меняется по толщине в соответствии с высотой стенки тигля, а графитовая подставка выполнена цельной. Данное устройство позволяет обеспечить равномерный нагрев расплавляемого материала, исключить деформацию кварцевого тигля и графитовой подставки. 2 з. п. ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента