На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ЕМКОСТНОЙ АКСЕЛЕРОМЕТР И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2114489

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94019260		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в измерительной технике, при разработке и изготовлении малогабаритного полупроводникового емкостного акселерометра. Сущность изобретения: в емкостном акселерометре, содержащем выполненные из кремния и соединенные между собой через пленку диэлектрика неподвижную плату и рамку, с закрепленной на ней на гибких перемычках подвижной платой, установленной с зазором относительно неподвижной. Неподвижная плата по периферии в областях, противостоящих рамке, углублена, кроме участков в виде выступов, расположенных равномерно по периметру рамки, причем выступы покрыты пленкой диэлектрика, а суммарная площадь вершин выступов, соприкасающихся с рамкой составляет не более 0,1 площади подвижной платы. В способе изготовления емкостного акселерометра, включающем формирование травлением из кремния неподвижной платы и подвижной, закрепленной на гибких перемычках на рамке, и соединение неподвижной платы с рамкой через слой ди- электрика, при формировании неподвижной платы проводят окисление пластины кремния на глубину 0,5 - 1,5 мкм, напыляют слой алюминия толщиной 2,0 - 3,0 мкм, фотолитографией формируют из пленки алюминия участки, равномерно расположенные по периметру платы, напыляют пленку меди толщиной 1,0 мкм с адгезионным подслоем ванадия, наносят фоторезист, формируют в нем окна, соответствующие участкам алюминия на периферии, и окно в центре, соответствующее размеру подвижной платы, электрохимическим способом увеличивают толщину меди в 10 раз, удаляют фоторезист, стравливают напылен- ные пленки меди и ванадия, стравливают пленку двуокиси кремния. Травят кремний в растворе щелочи на глубину 0,3 - 0,5 исходной толщины пластины, формируя выступы, удаляют медь и ванадий в концентрированной азотной кислоте, разделяют пластину на отдельные платы, совмещают неподвижную плату и рамку с подвижной платой, помещая рамку на выступы, воздействуют давлением 1,5 - 2,0 кг/см² и проводят термообработку при температуре 600^oС в течение 60 мин. Техническим результатом изобретения является улучшение метрологических характеристик акселерометра и упрощение технологии его изготовления. 2 с.п.ф-лы. 8 ил.

Вернуться к списку