На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ | |
Номер публикации патента: 2112076 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C23C014/35 C23C014/08 | Аналоги изобретения: | JP, заявка Японии, 63-54788, C 23 C 14/08, 1988. |
Имя заявителя: | Товарищество с ограниченной ответственностью "ТИКО" | Изобретатели: | Титомир А.К. Сушков В.Я. Духопельников Д.В. | Патентообладатели: | Товарищество с ограниченной ответственностью "ТИКО" |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано для получения прозрачных электродов и прозрачных электронагревательных элементов. Способ нанесения прозрачного проводящего покрытия включает реактивное магнетронное распыление и осаждение металлического индия с добавлением олова в атмосфере газовой смеси инертного газа и кислорода при одновременной ионной стимуляции процесса осаждения. Способ позволяет получать покрытия без предварительного нагрева, что значительно сокращает время нанесения покрытия.
|