Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Выставки Бизнес Карта сайта
 
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ

Номер публикации патента: 2111292

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 97110930 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C30B029/04   B05D003/06    
Аналоги изобретения: US, патент 5616373, 01.04.97, B 05 D 3/06. US, патент 5352493, 1994, B 05 D 3/06. 

Имя заявителя: Пыпкин Борис Николаевич 
Изобретатели: Пыпкин Борис Николаевич
Шупегин Михаил Леонидович 
Патентообладатели: Пыпкин Борис Николаевич
Шупегин Михаил Леонидови 

Реферат


Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий . Изобретение направлено на повышение качества покрытия, заключающееся в повышении адгезии покрытия к подложке. Способ получения алмазоподобных покрытий включает создание плазмы в вакуумной камере испарением кремнийсодержащего углеводорода с подачей высокочастотного напряжения на подложкодержатель, при этом перед началом процесса камеру откачивают до давления не выше 1 · 10-5 торр, подают на термокатод, анод и подложкодержатель напряжения, обеспечивающие стационарный процесс осаждения и нагрев керамического натекателя для подачи кремнийорганического углеводорода до 500 - 800oС, подают в камеру аргон до возникновения устойчивого горения плазмы, выдерживают 5 - 10 мин, а затем включают подачу кремнийсодержащего углеводорода, постепенно монотонно увеличивая его расход через керамический натекатель от нуля до заданного значения в течение 3 - 4 мин, и при возрастании тока плазмы на 10 - 15% подачу аргона прекращают.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.222
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"