На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ

Номер публикации патента: 2111292

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  97110930		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий . Изобретение направлено на повышение качества покрытия, заключающееся в повышении адгезии покрытия к подложке. Способ получения алмазоподобных покрытий включает создание плазмы в вакуумной камере испарением кремнийсодержащего углеводорода с подачей высокочастотного напряжения на подложкодержатель, при этом перед началом процесса камеру откачивают до давления не выше 1 · 10^-5 торр, подают на термокатод, анод и подложкодержатель напряжения, обеспечивающие стационарный процесс осаждения и нагрев керамического натекателя для подачи кремнийорганического углеводорода до 500 - 800^oС, подают в камеру аргон до возникновения устойчивого горения плазмы, выдерживают 5 - 10 мин, а затем включают подачу кремнийсодержащего углеводорода, постепенно монотонно увеличивая его расход через керамический натекатель от нуля до заданного значения в течение 3 - 4 мин, и при возрастании тока плазмы на 10 - 15% подачу аргона прекращают.

Вернуться к списку