|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТЕЙ ЭТИМ МИКРОСКОПОМ |  |
Номер публикации патента: 2109369 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 | | Аналоги изобретения: | US, патент, 4343993, кл. G 01 N 23/00, 1982. US, патент 5468959, кл. H 01 J 37/28, 1995. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "НТЕ" | | Изобретатели: | Решетов В.Н.
Гоголинский К.В. | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "НТЕ" |
Реферат | |
Использование: измерительная техника при исследовании свойств поверхностей. Сущность изобретения: в микросхеме зонд с проводящей иглой выполнен в виде резонатора, подключен к схеме возбуждения колебаний и снабжен устройством для измерения частоты и амплитуды колебаний зонда. Способ измерения свойств поверхности заключается в том, что прикладывают постоянное напряжение между иглой и образцом, зонд приводят в колебания схемой возбуждения и сканируют образец при поддержании постоянного значения амплитуды или частоты колебаний или тока между иглой и образцом. Измеряемые при этом сигнал на механизм перемещения зонда, значения амплитуды и частоты колебаний зонда и значение силы тока, текущего через иглу и образец, используют для определения топологии, механических и электрических свойств поверхности. 2 с. и 1 з. п. ф-лы, 6 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента